高压大功率器件用6 kV/180 ℃高温反偏测试装置研制

高温反偏测试（high temperature reverse bias，HTRB）作为功率器件可靠性测试的重要环节，其测试装置的精度和功能决定了对被测器件老化程度判定的准确性。针对高压大功率器件对测试装置空间、精度以及可靠性的需求，自主研制出了电压等级6 kV、环境温度180 ℃的高温反偏测试装置。此外，该测试装置还集成了温度-漏电流关系曲线自动测量及失效期数据高频采集等功能，更为准确灵活地监测被测器件的状态，进行可靠性评估与失效分析。为验证该测试装置的各项功能及可靠性，使用该装置对商业IGBT器件进行了测试，初步测试结果表明：温度与漏电流呈指数关系，集射极漏电流随着老化的进行逐渐增大。该装置符合高压大功率半导体器件对高温反偏测试的需求且适用于不同封装的IGBT器件。