| 平板显示器中ITO透明电极制备的研究 |
| |
| 引用本文： | 姚亮,张永爱,雷晓阳,郭太良. 平板显示器中ITO透明电极制备的研究[J]. 液晶与显示, 2008, 23(1): 16-20 |
| |
| 作者姓名： | 姚亮 张永爱 雷晓阳 郭太良 |
| |
| 作者单位： | 福州大学物理与信息工程学院光电显示技术研究所,福建,福州,350002 |
| |
| 摘 要： | 利用光刻技术和湿法刻蚀技术制备ITO透明电极,借助视频显微仪和台阶仪观测电极形状和表面形貌.比较了不同溶液的刻蚀效果,指出采用盐酸加三氯化铁溶液刻蚀效果最佳,分别讨论了HCl含量和ReCl3含量变化对ITO膜刻蚀速率的影响.最后指出在25士2℃的环境下,刻蚀液HCl、H20和FeCl3·6H2O的配比满足3 L:1 L:(20～30 g)时,ITO膜的刻蚀速率能达到1 nm/s,所制备的透明电极边缘整齐无钻蚀,适合于制备平板显示器中的透明精细电极.
|
| 关 键 词： | 平板显示器 ITO透明电极 湿法刻蚀 平板显示器 电极制备 研究 Electrode Transparent 边缘 配比 环境 影响 刻蚀速率 含量变化 效果最佳 氯化铁溶液 盐酸 比较 表面形貌 电极形状 观测 台阶仪 显微仪 |
| 文章编号： | 1007-2780（2008）01-0016-05 |
| 收稿时间： | 2007-09-28 |
| 修稿时间： | 2007-10-29 |
Preparation of ITO Transparent Electrode for FPD |
| |
| YAO Liang,ZHANG Yong-ai,LEI Xiao-yang,GUO Tai-liang. Preparation of ITO Transparent Electrode for FPD[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2008, 23(1): 16-20 |
| |
| Authors: | YAO Liang ZHANG Yong-ai LEI Xiao-yang GUO Tai-liang |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | flat panel display ITO transparent electrode wet chemical etching |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
