气密封连接器氦气吸附问题的分析研究

本文通过对器件盒上所用气密封连接器进行了氦气吸附问题研究。通过试验及分析证明了气密封连接器中所采用的绝缘材料对氦气的吸附性很小,在采用氦质谱背压检漏法对器件盒进行检漏时,其影响可以忽略,而真正影响检漏结果的是连接器所采用的具体结构形式。