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多通道T/R组件多热源耦合仿真模型
引用本文:彭浩,桂明洋,迟雷,宋瑛.多通道T/R组件多热源耦合仿真模型[J].半导体技术,2021,46(6):492-496.
作者姓名:彭浩  桂明洋  迟雷  宋瑛
作者单位:中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄 050051;国家半导体器件质量监督检验中心,石家庄 050051;河北工业职业技术学院环境与化学工程系,石家庄 050091
摘    要:半导体器件可靠性受其热效应的影响,多通道T/R组件的温度场本身存在多热源耦合,还受到电磁损耗的影响.为定量研究组件的热效应,建立了基于有限元仿真的T/R组件热力学模型,除芯片热效应和组件的三维结构外,该模型还考虑了组件不同位置的材料特性、组件表面电磁功率损耗和印制电路板(PCB)布线,较传统模型大幅提高了模型精细化程度.通过仿真得到了多通道T/R组件的温度场分布,为组件热设计提供了依据,仿真分析认为PCB含铜量和外壳表面积是影响散热效率的关键因素.最后利用红外热像仪对组件进行测试,并将实测结果与仿真结果进行验证.仿真结果与实测结果相接近,模型精度较传统仿真模型有较大提升.

关 键 词:T/R组件  热力学模型  有限元仿真  温度场  红外测温

Multi-Heat Source Coupling Simulation Model for Multi-Channel T/R Module
Peng Hao,Gui Mingyang,Chi Lei,Song Ying.Multi-Heat Source Coupling Simulation Model for Multi-Channel T/R Module[J].Semiconductor Technology,2021,46(6):492-496.
Authors:Peng Hao  Gui Mingyang  Chi Lei  Song Ying
Abstract:
Keywords:
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