| 应用于MEMS惯性器件的高精度Σ-△调制器 |
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| 作者姓名： | 李明昊 杨拥军 任臣 付迪 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄 050051;中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄 050051;河北美泰电子科技有限公司,石家庄050051;河北美泰电子科技有限公司,石家庄050051 |
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| 摘 要： | 为了实现微电子机械系统(MEMS)惯性器件的高精度数字化输出,设计了一款单环5阶Σ-△调制器.利用Matlab在系统级完成了Σ-△调制器的结构设计,确定调制器为带有零点优化的级联积分器前馈(CIFF)结构,并在Simulink中完成了调制器非理想模型的建立.在电路设计时,调制器整体采用全差分的开关电容电路来实现.为了降低整体调制器的噪声,在第1级积分器中加入了斩波稳定模块,并采用了具有低回踢噪声的动态比较器作为一位量化器.本设计在0.18 μm BCD工艺下实现,工作电压为5V、采样频率为500 kHz、过采样率为128时,调制器的功耗约为4.25 mW,有效位数为19.06 bit.
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| 关 键 词： | 微电子机械系统(MEMS)惯性器件 Σ-△调制器 斩波放大器 高速动态比较器 回踢噪声 |
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