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| 两米光栅——线纹自动测量仪（二） | |
| 作者姓名： | 牛立新 任冬梅 |
| 作者单位： | 北京市长城计量测试技术研究所!北京市，100095，北京市长城计量测试技术研究所!北京市，100095，北京市长城计量测试技术研究所!北京市，100095，北京市长城计量测试技术研究所!北京市，100095，北京市长城计量测试技术研究所!北京市，100095 |
| 摘 要： | （上接1997年第17卷第5期第5页）InstrumentforMeasuringLengthGratingsandLineStandardsupto2mAutomatically(2)NiuLixin;RenDongrnei;WangXiaowei;CaoHang;QiAihui2仪器的机械结构图2所示为仪器的机械结构。仪器由三个水平调节千斤顶支撑着，整个系统安放在一个保温军内。激光光源、显微镜照明光源和电机驱动器都安装在保温罩外。交流伺服电机通过一个谐波减速器，用同步带与滚珠丝杠相连，丝杠螺母带动工作台运动，螺母与工作台之间用气浮式拨又连接，以减小丝杠挠动对工作台的影响。近些年来，空气静压（气浮）导轨技术在计量仪… |
| 关 键 词： | 计量光栅 光栅 线纹自动测量仪 |
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