| PLZT（28／0／100）薄膜的溶胶－凝胶制备技术及显微结构 |
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| 引用本文： | 陈志雄,唐大海,刘梅冬,王培英,吴国安,丁军勇.PLZT（28／0／100）薄膜的溶胶－凝胶制备技术及显微结构[J].材料研究学报,1995(1). |
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| 作者姓名： | 陈志雄 唐大海 刘梅冬 王培英 吴国安 丁军勇 |
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| 作者单位： | 广州师范学院物理系，华中理工大学固体电子学系 |
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| 摘 要： | 用溶胶—凝胶技术及回旋法，在石英玻璃和单晶ｓｉ基片上制备ＰＬＺＴ（２８／０／１００）多晶薄膜；在ＳｒＴｉＯ３和α－Ａ１２Ｏ３单晶基片上外延生长择优取向薄膜．其外延关系分别为（１００）ＰＬＺＴ（２８／０／１００）／／（１００）ＳｒＴｉＯ３和（１００）ＰＬＺＴ（２８／０／１００）／／（０００１）Ａｌ２Ｏ３．用ＩＲ，ＸＲＤ．ＲＨＥＥＤ，ＳＥＭ和ＳＩＭＳ分析凝胶中杂质、凝胶的分子结构和薄膜的显微结构．结果表明，用溶胶—凝胶技术能制备出显微结构良好的多组份陶瓷薄膜．
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| 关 键 词： | 溶胶—凝胶，PLZT薄膜，外延生长，显微结构 |
SOL-GEL PREPARATION TECHNIQUE AND MICROSTRUCTURE OF PLZT(28 / 0 / 100) THIN FILMS |
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| CHEN Zhixiong,TANG Dahai.SOL-GEL PREPARATION TECHNIQUE AND MICROSTRUCTURE OF PLZT(28 / 0 / 100) THIN FILMS[J].Chinese Journal of Materials Research,1995(1). |
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| Authors: | CHEN Zhixiong TANG Dahai |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol-gel PLZT thin film epitaxial growth microstructure |
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