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| TiO2薄膜氧敏元件的研究与发展 | |
| 引用本文： | 田立强,潘国峰,赵彦晓,王静,孙以材.TiO2薄膜氧敏元件的研究与发展[J].传感器世界,2002,8(7):7-10. |
| 作者姓名： | 田立强 潘国峰 赵彦晓 王静 孙以材 |
| 作者单位： | 天津河北工业大学 300130 |
| 摘 要： | 综述了TiO2氧敏传感器的发展概况、氧敏机理，并对以不同方法制备的TiO2氧敏器件性能进行了比较，分析了如何提高氧传感器的性能，并对TiO2氧敏传感器今后的发展和研究提出了几点建议。 |
| 关 键 词： | 氧敏传感器 薄膜 制备方法 二氧化钛 氧敏材料 |
| 文章编号： | 1006-883X(2002)07-0007-04 |
Research and Development of the Oxygen Sensors with TiO2 Thin Films |
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