| 溅射镀膜用钛靶材制备工艺研究 |
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| 引用本文： | 高维娜,党鹏,付文杰,张清,邢秋丽. 溅射镀膜用钛靶材制备工艺研究[J]. 金属热处理, 2014, 39(12): 43. DOI: 10.13251/j.issn.0254-6051.2014.12.010 |
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| 作者姓名： | 高维娜 党鹏 付文杰 张清 邢秋丽 |
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| 作者单位： | 西部钛业有限责任公司 |
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| 摘 要： | 比较了真空自耗电弧炉熔炼+锻造法及电子束熔炼法所制得钛板坯的组织均匀性，同时对不同温度退火后板材的组织性能进行了研究。结果表明，采用此法制得的板坯组织均匀，经轧制及700 ℃保温30 min，空冷退火后，晶粒尺寸和性能配合良好，均满足靶材用钛板要求。
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| 关 键 词： | 钛靶材 制备工艺 退火 组织 |
Research on preparation process of titanium target used for sputtering and coating |
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| Gao Weina,Dang Peng,Fu Wenjie,Zhang Qing,Xing Qiuli. Research on preparation process of titanium target used for sputtering and coating[J]. Heat Treatment of Metals, 2014, 39(12): 43. DOI: 10.13251/j.issn.0254-6051.2014.12.010 |
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| Authors: | Gao Weina Dang Peng Fu Wenjie Zhang Qing Xing Qiuli |
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| Affiliation: | Western Titanium Technologies Co., Ltd. |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ti target preparation process annealing microstructure |
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