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| 血压计用MEMS压力传感器设计与制造 | |
| 引用本文： | 彭时秋,朱赛宁,肖步文.血压计用MEMS压力传感器设计与制造[J].传感器与微系统,2022(3):79-82. |
| 作者姓名： | 彭时秋 朱赛宁 肖步文 |
| 摘 要： | 针对微机电系统(MEMS)压力传感器灵敏度及线性度较难兼顾的问题,设计了一种可应用于电子血压计量程为40 kPa的MEMS压力传感器.首先基于硅压阻式MEMS压力传感器的工作原理,使用COMSOL Mutilphysics软件对传感器结构进行仿真设计,根据理论计算各结构尺寸,得到可获得最高输出灵敏度以及最小非线性的电阻... |
| 关 键 词： | 压阻式微机电系统压力传感器 COMSOL Mutilphysics软件 灵敏度 非线性度 |