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杂志ISSN号
血压计用MEMS压力传感器设计与制造
作者姓名:
彭时秋
朱赛宁
肖步文
摘 要:
针对微机电系统(MEMS)压力传感器灵敏度及线性度较难兼顾的问题,设计了一种可应用于电子血压计量程为40 kPa的MEMS压力传感器.首先基于硅压阻式MEMS压力传感器的工作原理,使用COMSOL Mutilphysics软件对传感器结构进行仿真设计,根据理论计算各结构尺寸,得到可获得最高输出灵敏度以及最小非线性的电阻...
关 键 词:
压阻式微机电系统压力传感器
COMSOL Mutilphysics软件
灵敏度
非线性度
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