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| 电子厂房洁净室空调设计 | |
| 作者姓名： | 李欣煜 |
| 摘 要： | 根据电子芯片的工艺特点,结合重庆市某12寸硅片加工厂房,从空调系统方案选择,空调负荷计算,空调风量计算,空调水系统设计等方面介绍了电子厂房洁净室的空调设计,并总结了设计过程中的一些要点,可为类似工程提供参考. |
| 关 键 词： | 电子厂房 洁净室 净化空调系统 新风系统 空调水系统 |
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