四自由度测量系统光束漂移抑制方法与系统

在机床导轨几何误差测量中,空气折射率不均匀造成的光束漂移会降低激光测量系统的检测精度,测量距离越远,影响越大.基于此,该文提出一种波纹管和气泵均匀化空气折射率的方法,抑制光漂的发生.以四自由度激光测量系统为对象,首先分析光束漂移机理,确定影响空气折射率的主要因素为温度与压强,给出轴向最大允许温度与压强梯度;其次通过流体...