磁控溅射镀铝一锌镀层工艺试验

本文报告了不同基片偏压对磁控溅射Ａｌ－ｚｎ镀层成份的影响，用扫描电镜分析了不同偏压下沉积试样表面形貌，在３．５ｗｔ％ＮａＣｌ溶液中进行了镀层试样电化学实验。