氦逆扩散质谱检漏法和卤素检漏法在大型低温容器真空检漏中的应用

氦逆扩散质谱检漏法和卤素检漏法成功地解决了低真空度下容器检漏难题，并在大型低温容器真空检汛领域中得到了实践应用，取得了较好的效果。