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杂志ISSN号
用溅离子泵抽氢
作者姓名:
Welch
KM 吕世珍
摘 要:
本篇文章讨论了二极型和三极型离子泵抽氢的情况。并说明这些泵中所用的阴极材料类型对抽氢效率有重大影响。所举之例包括了有铝,钛和钛合金阴极材料泵的数据。数据表明的铝阴极二极型泵抽氢并不比抽氦更有效。在压强很低时使用钛阳极和泵体钛屏蔽下会对抽速有一定影响。
关 键 词:
重离子碰撞器 溅射离子泵 氢气 抽气量
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