| 组装微构件吸附用玻璃针尖规范化加工工艺研究 |
| |
| 引用本文： | 路敦武,何伟.组装微构件吸附用玻璃针尖规范化加工工艺研究[J].光学精密工程,1997,5(2):54-57. |
| |
| 作者姓名： | 路敦武 何伟 |
| |
| 作者单位： | [1]中国科学院上海光学精密机械研究所 [2]上海同济大学 |
| |
| 基金项目： | 国家攀登计划B“微电子机械系统研究”中的分课题 |
| |
| 摘 要： | 建立了组装微构件吸附用玻璃针尖规范化加工装置,研究了有特定要求吸附针尖的规范化加工工艺,对得到的结果进行了分析和讨论。
|
| 关 键 词： | 微机械 玻璃针尖加工工艺 |
| 收稿时间： | 1996-09-24 |
Fabrication Technique Study of Glass Suction Needle Used in Assembling Micro Mechanical Elements |
| |
| Lu Dunwu,Huang Huijie,Shen Beijun,Yang Liangmin,Liu Zengshui.Fabrication Technique Study of Glass Suction Needle Used in Assembling Micro Mechanical Elements[J].Optics and Precision Engineering,1997,5(2):54-57. |
| |
| Authors: | Lu Dunwu Huang Huijie Shen Beijun Yang Liangmin Liu Zengshui |
| |
| Affiliation: | 1. Shanghai Institute of Optics &; Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, 201800;2. Shanghai Tongji University, Shanghai, 200092 |
| |
| Abstract: | The study establishes a glass suction needle fabrication apparatus and concludes a technique for fabrication of glass suction needle.In the end of the fabrication result is analysed and discussed. |
| |
| Keywords: | MEMS Fabrication technique for glass needle |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《光学精密工程》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《光学精密工程》下载全文 |
