纳米Fe微粒的溅射制备及粒度计算

运用溅射方法，通过控制溅射时间，氩气压强和Ａｌ２Ｏ３与Ｆｅ的比例制备了粒子直径３Ａ－９０Ａ的纳米铁微粒薄膜。并对纳米微粒进行了计算和电镀观察。