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纳米Fe微粒的溅射制备及粒度计算
作者姓名:
潘成福 侯登录
摘 要:
运用溅射方法,通过控制溅射时间,氩气压强和Al2O3与Fe的比例制备了粒子直径3A-90A的纳米铁微粒薄膜。并对纳米微粒进行了计算和电镀观察。
关 键 词:
纳米 溅射 铁 粒度计算 磁性 磁粉
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