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杂志ISSN号
专利名称:镀膜装置中的遮板
作者姓名:
雷卫武
摘 要:
一种镀膜装置中的遮板,是用以在一基板上形成两种以上特定厚度的镀膜层,其中遮板的形状是由多数条同心圆弧线所构成,同心圆弧线的弧度是依据镀膜层的特定厚度设成。具有遮板能够精密控制镀膜层每一点的膜厚的功效。
关 键 词:
镀膜装置 基板 专利名称 镀膜层 精密控制 圆弧线 厚度 同心
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