| 制备GaAs激光窗口材料的一种新型补偿掺杂剂 |
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| 引用本文： | 黎建明,屠海令.制备GaAs激光窗口材料的一种新型补偿掺杂剂[J].稀有金属,2004,28(3):554-557. |
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| 作者姓名： | 黎建明 屠海令 |
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| 作者单位： | 北京有色金属研究总院红外光学材料所,北京,100088 |
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| 摘 要： | 用氧化铬 (Cr2 O3)作补偿掺杂剂、LEC法生长的GaAs窗口晶体 ,容易满足高阻补偿条件 ,碳、硅两种主要的残余杂质得到有效抑制 ,获得低自由载流子光吸收的优质GaAs红外激光出口材料。补偿掺杂剂氧化铬 (Cr2 O3)剂量为 99 9999%Ga和 99 9999%As量的优选范围是0 0 1%～ 0 0 4% (质量分数 )。室温下的自由载流子浓度低于 5× 10 6 cm- 3,对光吸收系数的贡献可以忽略。轻掺氧化铬高阻GaAs晶体具有良好的红外透射特性 ;10 6μm处激光量热法测量的红外光吸收系数约为 1 4× 10 - 3cm- 1 。
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| 关 键 词： | GaAs 激光窗口 补偿掺杂 |
| 文章编号： | 0258-7076(2004)03-0554-04 |
A New Compensating Dopant to Develop GaAs Laser Window Material |
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| Li Jianming,Tu Hailing.A New Compensating Dopant to Develop GaAs Laser Window Material[J].Chinese Journal of Rare Metals,2004,28(3):554-557. |
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| Authors: | Li Jianming Tu Hailing |
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| Affiliation: | Li Jianming~*,Tu Hailing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | GaAs laser window material compensating doping |
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