| 电容式石英膜盒压力传感器的研制 |
| |
| 引用本文： | 杨乐民,孙光裕.电容式石英膜盒压力传感器的研制[J].哈尔滨工业大学学报,1991(3):97-101. |
| |
| 作者姓名： | 杨乐民 孙光裕 |
| |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学精密仪器系，哈尔滨工业大学精密仪器系，哈尔滨工业大学精密仪器系，哈尔滨工业大学精密仪器系，哈尔滨工业大学精密仪器系 付教授 |
| |
| 摘 要： | 本文介绍了电容式石英膜盒压力传感器工作原理、石英膜盒结构设计和加工工艺。对配用的测试电路也做了说明,整体石英弹性膜盒的研制成功为脆性材料弹性化开拓了应用新途径并为大气压力无汞测量提供了新的敏感器件。
|
| 关 键 词： | 电容式 石英膜盒 传感器 大气压力 |
Development of Capacitive Type of Quartz Bellows-Gauge |
| |
| Yang Lemin Sun Guangyu Li Yaowen Yuan Feng Peng Yuexaan.Development of Capacitive Type of Quartz Bellows-Gauge[J].Journal of Harbin Institute of Technology,1991(3):97-101. |
| |
| Authors: | Yang Lemin Sun Guangyu Li Yaowen Yuan Feng Peng Yuexaan |
| |
| Affiliation: | Yang Lemin Sun Guangyu Li Yaowen Yuan Feng Peng Yuexaan |
| |
| Abstract: | In this paper the principles of fused quartz capsule capadtive pressure sensor is introduced. Its structure and measurement circuit are also shown. The development of this sensor breaks a new path for measuring atmasphere pressure without mercury |
| |
| Keywords: | Fused quartz capsule capacitor sensor barometer |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
