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杂化CuPc有机半导体的气敏特性研究
引用本文:李月,施云波,殷景华,杨培滋.杂化CuPc有机半导体的气敏特性研究[J].哈尔滨理工大学学报,2006,11(2):43-46.
作者姓名:李月  施云波  殷景华  杨培滋
作者单位:哈尔滨理工大学,应用科学学院,黑龙江,哈尔滨,150080;哈尔滨理工大学,应用科学学院,黑龙江,哈尔滨,150080;哈尔滨理工大学,应用科学学院,黑龙江,哈尔滨,150080;哈尔滨理工大学,应用科学学院,黑龙江,哈尔滨,150080
基金项目:中国科学院资助项目 , 黑龙江省科技攻关项目
摘    要:采用“模板法”,在N2气保护下,合成CuPc基体材料.通过共溶技术对其杂化,得到具有较理想电导率的气敏材料.应用微精细加工工艺制备具有平面叉指电极结构的气体传感器的基片,利用真空镀膜方法在平面叉指电极基片上形成敏感膜.通过扫描电子显微(SEM)形貌分析表明,薄膜颗粒尺寸均匀.静态测试法考核传感器性能表明,传感器具有较好的响应恢复性,灵敏度和热稳定特性,对C l2、NO2、H2S等有毒气体选择性好、响应灵敏.

关 键 词:杂化CuPc  叉指电极  灵敏度  敏感膜
文章编号:1007-2683(2006)02-0043-04
修稿时间:2005年7月12日

Study on Sensitive Properties of Mixed CuPc Organic Semiconductor
LI Yue,SHI Yun-bo,YIN Jing-hua,YANG Pei-zi.Study on Sensitive Properties of Mixed CuPc Organic Semiconductor[J].Journal of Harbin University of Science and Technology,2006,11(2):43-46.
Authors:LI Yue  SHI Yun-bo  YIN Jing-hua  YANG Pei-zi
Abstract:Introducing a method of synthesizing CuPc with the protection of N_2,an ideal conductivity was obtained by mixing the material of phthalocyanine properly.By meticulous processing technology,level fork electrode was prepared;by means of vacuum plat film,daubing and dip-coating technology,a sensitive membrane was formed on fork electrohde.SEM shape looks analysis indicated that the particles of the membrane were even.The experiment showed that the sensitive membrane of phthalocyanine has good responsible,sensitivity and stable properties to Cl_(2,)NO_2,H_2S gas.
Keywords:phthalocyanine  sensitivity  vacuum plating  fork electrode
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