| 微系统技术发展现状及趋势 |
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| 引用本文： | 朱晓枭,周瑜,刘云飞,冯杰. 微系统技术发展现状及趋势[J]. 电声技术, 2021, 45(7): 21-29. DOI: 10.16311/j.audioe.2021.07.006 |
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| 作者姓名： | 朱晓枭 周瑜 刘云飞 冯杰 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第三研究所,北京 100015 |
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| 摘 要： | 微系统将信息的获取、处理、分析及执行融为一体,整合了传统电子信息系统的各个子系统,具有尺寸小、功能丰富且完整、可靠性高、功耗低以及成本低等特点,在军事、工业及农业等领域有巨大的应用价值和前景.基于此,系统性地阐述微系统的概念,总结微系统技术的发展现状及其趋势,并梳理微系统技术的应用领域和方向.
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| 关 键 词： | 微电子信息系统 MEMS 集成技术 |
Development Status and Trends of Microelectronic Information System |
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| ZHU Xiaoxiao,ZHOU Yu,LIU Yunfei,FENG Jie. Development Status and Trends of Microelectronic Information System[J]. Audio Engineering, 2021, 45(7): 21-29. DOI: 10.16311/j.audioe.2021.07.006 |
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| Authors: | ZHU Xiaoxiao ZHOU Yu LIU Yunfei FENG Jie |
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