| MEMS矢量传声器研究进展 |
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| 引用本文： | 刘云飞,周瑜,涂其捷,张学聪,魏晓村,冯杰.MEMS矢量传声器研究进展[J].电声技术,2021,45(7):10-17. |
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| 作者姓名： | 刘云飞 周瑜 涂其捷 张学聪 魏晓村 冯杰 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第三研究所,北京 100015 |
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| 摘 要： | 矢量传声器由声压传感器和质点振速传感器复合构成,可时间同步、空间共点测量声场声压标量及质点振速矢量信息,在开展振动噪声监测、被动声测定位以及声全息成像等相关声学测试方面有着独特的优势,因而具有重要的工程应用价值.质点振速传感器是矢量传声器的核心部件,具有偶极子指向性,可直接感测声场质点振速各正交分量.基于此,介绍基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)技术的矢量传声器的研究进展,概述MEMS矢量传声器的工作原理、设计制作及工程应用等方面的发展现状.
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| 关 键 词： | 矢量传声器 质点振速 MEMS |
Research Progresses of MEMS Acoustic Vector Sensors |
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| LIU Yunfei,ZHOU Yu,TU Qijie,ZHANG Xuecong,WEI Xiaocun,FENG Jie.Research Progresses of MEMS Acoustic Vector Sensors[J].Audio Engineering,2021,45(7):10-17. |
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| Authors: | LIU Yunfei ZHOU Yu TU Qijie ZHANG Xuecong WEI Xiaocun FENG Jie |
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