|
|||||
|
|
| 薄膜 | |
| 作者姓名： | 李学丹 万英超 |
| 作者单位： | 浙江大学信息与电子工程系，浙江大学信息与电子工程系 |
| 摘 要： | 薄膜是不同于其它物态(气态、液态、固态和等离子态)的一种凝聚态,有人称之谓物质的第五态。顾名思义,薄膜就是薄层材料。它可以理解为气体薄膜,如吸附在固体表面的气体薄层;也可理解为液体薄膜,如附着在液体或固体表面的油膜。这里所指的薄膜是固体薄膜,即使是固体薄膜,也可分为薄膜单体和附着在某种基体上的另一种材料的固体薄膜,这里所说的薄膜属后一种。它可以是在固体表面上镀上一层与基体材料不同的薄层材料;也可以是利用固体本身生成一层与基体不同的材料。至于薄膜的厚度应为多少,这无严格的定义,通常是指厚度为几微米以下的薄层。薄膜的基体材料有绝缘体,有玻璃、陶瓷等。也有半导体,如硅、锗等。也有各种金属 |
| 关 键 词： | 薄膜 材料 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |