电子束检测过程中电子探针的定位与控制

本文提出了一种新的数字扫描方法,用于解决集成电路电子束检测过程中电子探针的控制与定位问题。按此方法设计和调试了有关电路及程序,并在国产电镜上初步实现了电子探针的定位与控制。