| 生长温度和化学剂量比对MgZnO合金薄膜相结构的影响 |
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| 引用本文： | 吴春霞,申德振,范希武.生长温度和化学剂量比对MgZnO合金薄膜相结构的影响[J].液晶与显示,2008,23(6). |
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| 作者姓名： | 吴春霞 申德振 范希武 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033;江苏大学光子制造科学中心,江苏,镇江,212013
2. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033 |
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| 摘 要： | 利用等离子辅助分子束外延技术,在蓝宝石c-平面上外延生长了ZnO单晶薄膜.原位反射式高能电子衍射结果表明,在650℃时样品为平整的表面.但X射线衍射测量表明,在此温度下添加Mg源生长的MgxZn1-xO合金薄膜,随Mg量的增加很快经历了六角相-混合相-立方相的相结构转变,这与扫描电子显微照片的直观结果相对应.分析指出该结果是由生长温度和Ⅱ、Ⅵ族元素的化学剂量比共同决定的.
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| 关 键 词： | 等离子辅助分子束外延 MgZnO合金 原位反射式高能电子衍射 X射线光电子能谱 |
Effect of Growing Temperature and Stoichiometry on Phase Structure in MgxZn1-xO Alloy Thin Films |
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| WU Chun-xia,SHEN De-zhen,FAN Xi-wu.Effect of Growing Temperature and Stoichiometry on Phase Structure in MgxZn1-xO Alloy Thin Films[J].Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays,2008,23(6). |
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| Authors: | WU Chun-xia SHEN De-zhen FAN Xi-wu |
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