| 用于光电集成收发模块的SOI波导耦合器设计 |
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| 引用本文： | 冯丽爽,于怀勇,王广龙,刘惠兰,邢济武.用于光电集成收发模块的SOI波导耦合器设计[J].传感技术学报,2008,21(4):684-687. |
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| 作者姓名： | 冯丽爽 于怀勇 王广龙 刘惠兰 邢济武 |
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| 作者单位： | 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京,100083;北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京,100083;北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京,100083;北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京,100083;北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京,100083 |
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| 摘 要： | 基于光纤陀螺的小型化和工程化设计要求,提出模块化设计概念。设计了一种Y型SOI波导耦合器,用于光纤陀螺光收发模块。此结构具有形式简单、谱宽、加工工艺成熟和易于实现光电集成等技术优势。理论上分析了波导结构参数对其特征参数(分光比、损耗)的影响,优化参数设计,通过模场匹配理论减小器件损耗。最后,对波导耦合器加工工艺进行了讨论,采用电子束光刻技术加工出波导掩膜版,并对加工工艺参数进行了优化。实验结果表明:所设计的分光比50%:50%波导耦合器,当波导长为25mm时,输入输出波导的间距可以达到300μm,且理论弯曲损耗可忽略不计,可以有效的抑制光源与耦合器的串音干扰。通过优化工艺参数,设计的SOI波导耦合器可以满足设计要求。
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| 关 键 词： | 波导耦合器 SOI 光电集成 收发模块 掩模版 |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)04-0684-04 |
| 修稿时间： | 2007年9月30日 |
Design on SOI Waveguide Coupler for an Intergrated Opto-electronic
Model of Miniature Fiber Optic Gyros |
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| FENG Li-shuang,YU Huai-yong,WANG Guang-long,LIU Hui-lan,XING Ji-wu.Design on SOI Waveguide Coupler for an Intergrated Opto-electronic
Model of Miniature Fiber Optic Gyros[J].Journal of Transduction Technology,2008,21(4):684-687. |
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| Authors: | FENG Li-shuang YU Huai-yong WANG Guang-long LIU Hui-lan XING Ji-wu |
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| Affiliation: | School of Instrument Science and Opto-electronics Engineering, Beihang University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | waveguide coupler SOI Intergrated opto-electronic Model interferometric FOG mask |
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