| 有机薄膜衬底ITO透明导电膜的制备及光电特性的研究 |
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| 引用本文： | 马瑾.有机薄膜衬底ITO透明导电膜的制备及光电特性的研究[J].太阳能学报,1998,19(2):198-201. |
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| 作者姓名： | 马瑾 |
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| 作者单位： | 山东大学光电材料与器件研究所 |
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| 摘 要： | 采用真空反应蒸发技术，在有机薄膜基片上制备出高质量的ＩＴＯ透明导电薄膜，对薄膜的结构和光电特性进行了研究。制备的最佳薄膜在可见光范围的平均透过率达８４％，电阻率为８．２３×１０－４Ωｃｍ，载流子浓度为１．７２×１０２０ｃｍ－３。
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| 关 键 词： | ITO薄膜，透过率，电阻率 |
PERFORMANCE STUDY OF OPTOELECTRICAL PROPERTIES OF ITO FILMS DEPOSITED ONTO POLYESTER SUBSTRATES BY EVAPRATING METHOD |
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| Ma Jin,Li Shuying,Ma Honglei,Zhao Jiunqing,Ye Li na.PERFORMANCE STUDY OF OPTOELECTRICAL PROPERTIES OF ITO FILMS DEPOSITED ONTO POLYESTER SUBSTRATES BY EVAPRATING METHOD[J].Acta Energiae Solaris Sinica,1998,19(2):198-201. |
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| Authors: | Ma Jin Li Shuying Ma Honglei Zhao Jiunqing Ye Li na |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ITO films transmission sheet resistance |
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