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杂志ISSN号
Intel:2011年前EUV无法在22nm大展拳脚
作者姓名:
David
Lammers
摘 要:
Intel逻辑技术研发部工艺架构和集成主管Mark Bohr介绍说,当开始计划生产22nm的微处理器产品时,Intel认为在2011年前极紫外(EUV)光刻技术都不会是一项具有生产价值的技术。
关 键 词:
Intel
EUV
逻辑技术
生产价值
Mark
微处理器
光刻技术
极紫外
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