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准分子激光器异步感应密封传动技术
引用本文:熊旭明,秦玉英,王广昌,张兆平,聂劲松,马树森. 准分子激光器异步感应密封传动技术[J]. 应用激光, 1995, 0(1)
作者姓名:熊旭明  秦玉英  王广昌  张兆平  聂劲松  马树森
作者单位:中国科学院安徽光学精密机械研究所
摘    要:一种新型准分子激光器循环系统中的密封传动技术,具有可耐高气压,不失耦,不使用昂贵强磁材料,结构简单等优点,虽有涡流损失过大之不足,但能很好地适用于小功率下运行。

关 键 词:准分子激光器,密封传动

The Asynchronous Sealed Gas Circulation Drive in Exclmer Laser
Xiong Xuming,Qin Yuying,Wang Guangchang, Zhang Zhaoping,Nie Jinsong,Ma Shusen. The Asynchronous Sealed Gas Circulation Drive in Exclmer Laser[J]. Applied Laser, 1995, 0(1)
Authors:Xiong Xuming  Qin Yuying  Wang Guangchang   Zhang Zhaoping  Nie Jinsong  Ma Shusen
Abstract:This paper describes a new technique of asynchronous sealed drive which overomes the defects existing in the technique of magnetic sealed drive.
Keywords:excimer laser  sealed drive
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