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| 充氟油器件检漏设备的研制 | |
| 引用本文： | 吕桂强,陈旭,荣维刚,金奇计.充氟油器件检漏设备的研制[J].真空,2010,47(4). |
| 作者姓名： | 吕桂强 陈旭 荣维刚 金奇计 |
| 作者单位： | 1. 清华大学电子工程系,北京,100084;北京哲勤科技有限公司,北京,100020 2. 清华大学电子工程系,北京,100084 3. 北京哲勤科技有限公司,北京,100020 |
| 摘 要： | 针对充氟油器件泄漏介质为氟油的检漏需求,研制了一套四极质谱计检漏设备,该设备由四极质谱计和取样系统组成,使用累积法对充氟油器件进行检漏。文中介绍了系统的组成与原理,设备的校准,给出并讨论了实验结果。实验结果及用户的实际使用情况表明:充氟油器件检漏设备方法可行、性能可靠,相对误差在10%以内。 |
| 关 键 词： | 氟油器件 质谱检漏 累积 |
A leak detection system for sealed devices with perfluorotributylamine |
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| LV Gui-qiang,CHEN Xu,RONG Wei-gang,JIN Qi-ji.A leak detection system for sealed devices with perfluorotributylamine[J].Vacuum,2010,47(4). | |
| Authors: | LV Gui-qiang CHEN Xu RONG Wei-gang JIN Qi-ji |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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