有机聚合物1×32波导热光开关阵列 |
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引用本文: | 胡国华,恽斌峰,崔一平.有机聚合物1×32波导热光开关阵列[J].光电子.激光,2015,26(10):1873-1877. |
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作者姓名: | 胡国华 恽斌峰 崔一平 |
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作者单位: | 东南大学 先进光子学中心,江苏 南京 210096;东南大学 先进光子学中心,江苏 南京 210096;东南大学 先进光子学中心,江苏 南京 210096 |
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基金项目: | 国家自然基金重点(61535012)资助项目 (东南大学 先进光子学中心,江苏 南京 210096) |
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摘 要: | 研制出紧凑型树状分支结构马赫-曾德尔干涉(MZ I)型有机聚合物1×2热光开关以及1×32集成波导热 光开关阵列。利用旋转涂覆法、紫外固化工艺、接触曝光、反应离子刻蚀(RIE)、真空镀膜 、切割和抛光等传统 微加工工艺,成功完成了器件制备。通过优化刻蚀工艺,有效减小了刻蚀后波导的表面与侧 壁粗糙度。通过在 波导和金属掩膜层之间添加聚合物隔离层,进一步减小了波导的传输损耗。实验结果显示, 制备的1×2热 光开关插损仅为2.84dB,串扰为-31.13dB ,光开关的电功耗为4.1mW;制备的1×32波 导热光开关阵列插 损为11.8dB, 串扰为-25.3dB,电功耗小于5mW, 器件开关时间 为1.15ms。测试结果与数值模拟结果 吻合很好,研制的光开关有望应用于光交换器(OXC)、 光分插复用器(OADM)以及光 控相控阵天线的波束扫描控制系统中。
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关 键 词: | 聚合物 马赫-曾德尔干涉仪(MZI) 光开关阵列 |
收稿时间: | 8/4/2015 12:00:00 AM |
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