| SiCF的热解碳涂层的制备 |
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| 引用本文： | 赵锴,于新民,罗发,朱冬梅,周万城.SiCF的热解碳涂层的制备[J].稀有金属材料与工程,2007,36(Z2). |
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| 作者姓名： | 赵锴 于新民 罗发 朱冬梅 周万城 |
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| 摘 要： | 以C3H6为源气体,N2为稀释气,在800℃～1200℃温度范围内,SiC纤维上进行了热解碳的沉积.研究了沉积温度、系统压力和PN2/PC3H6对热解碳沉积速率和沉积层形貌的影响.结果表明:在沉积温度低于900℃,系统总压小于1 KPa条件下,沉积速率低,难以进行热解碳的沉积.随着沉积温度、系统压力升高,沉积速率升高,沉积层形貌发生改变.过低的PN2/PC3H6导致不均匀的热解碳沉积形貌,局部有碳颗粒的生成.沉积温度为1000℃、系统总压10 KPa左右、PN2/PC3H6为2:1的条件下可获得均匀致密的热解碳沉积层.反应热力学和动力学条件随工艺参数的改变而改变,这是热解碳沉积层形貌改变的主要原因.
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| 关 键 词： | 热解碳 沉积速率 形貌 丙烯 |
Preparation of Pyrocarbon Coatings on SiCF |
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| Zhao Kai,Yu Xinmin,Luo Fa,Zhu Dongmei,Zhou Wancheng.Preparation of Pyrocarbon Coatings on SiCF[J].Rare Metal Materials and Engineering,2007,36(Z2). |
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| Authors: | Zhao Kai Yu Xinmin Luo Fa Zhu Dongmei Zhou Wancheng |
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