1.3μm InGaAsP/InP大功率短脉冲SPB-BC激光器 |
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引用本文: | 张佰君,孙伟,衣茂斌,申智渊,李德辉,苗忠礼,高鼎三.1.3μm InGaAsP/InP大功率短脉冲SPB-BC激光器[J].半导体学报,1998(7). |
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作者姓名: | 张佰君 孙伟 衣茂斌 申智渊 李德辉 苗忠礼 高鼎三 |
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作者单位: | 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区 |
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摘 要: | 本文在传统的掩埋新月型激光器的基础上,提出了一种1.3μmInGaAsP/InP大功率激光器结构-选择性质子轰击掩埋新月型激光器(SPB-BC).文中对其制作过程及特性进行了详细的描述和测量.它的最低阈值电流小于10mA,对于n-InP衬底,它的最大输出功率为65mW,p-InP衬底,最大输出功率为80mW.在重复频率为2.1GHz时,测得光脉冲的半宽度(FWHM)为18ps.
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