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128×160元GaAs/AlGaAs多量子阱长波红外焦平面阵列
引用本文:苏艳梅,种明,张艳冰,胡小燕,孙永伟,赵伟,陈良惠.128×160元GaAs/AlGaAs多量子阱长波红外焦平面阵列[J].半导体学报,2005,26(10).
作者姓名:苏艳梅  种明  张艳冰  胡小燕  孙永伟  赵伟  陈良惠
作者单位:1. 中国科学院半导体研究所,纳米光电子实验室,北京,100083
2. 中国电子科技集团第十一研究所,华北光电所,北京,100015
3. 中科光电有限公司,北京,100083
基金项目:国家高技术研究发展计划(863计划)
摘    要:研制了128×160元GaAs/AlGaAs多量子阱红外焦平面阵列,它是目前国内报道的最大像元数的量子阱红外焦平面阵列.77K时,器件的平均黑体响应率Rv=2.81×107V/W,平均峰值探测率Dλ*=1.28×1010cm·W-1·Hz1/2,峰值波长λp=8.1μm,器件的盲元率为1.22%.

关 键 词:红外探测器  量子阱  焦平面阵列

A 128×160 Pixel GaAs/AlGaAs Multi-Quantum Well Long-Wavelength Infrared Photodetector Focal Plane Array
Su Yanmei,Chong Ming,Zhang Yanbing,Hu Xiaoyan,Sun Yongwei,Zhao Wei,Chen Lianghui.A 128×160 Pixel GaAs/AlGaAs Multi-Quantum Well Long-Wavelength Infrared Photodetector Focal Plane Array[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(10).
Authors:Su Yanmei  Chong Ming  Zhang Yanbing  Hu Xiaoyan  Sun Yongwei  Zhao Wei  Chen Lianghui
Abstract:
Keywords:
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