| 30Gbit/s并行光发射模块制作过程中的光耦合及封装 |
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| 引用本文： | 裴为华,唐君,申荣铉,陈弘达.30Gbit/s并行光发射模块制作过程中的光耦合及封装[J].半导体学报,2005,26(Z1). |
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| 作者姓名： | 裴为华 唐君 申荣铉 陈弘达 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 介绍了并行光发射模块制作过程中,垂直腔面发射激光器列阵与列阵光纤的对准及固定方法.对斜面光纤折弯耦合和垂直耦合两种方法进行了实验研究,得到的平均耦合效率均达70%以上.比较了两种耦合方式的利弊.针对列阵光纤耦合的特点,介绍了列阵光纤耦合过程中光纤的位置、角度的调整方法和特点.
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| 关 键 词： | 垂直腔面发射激光器 并行光发射模块 列阵光纤 耦合 |
30Gbit/s Optical Coupling and Package in a Parallel Optical Transmitter Module Development |
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| Pei Weihua,Tang Jun,Shen Rongxuan,Chen Hongda.30Gbit/s Optical Coupling and Package in a Parallel Optical Transmitter Module Development[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(Z1). |
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| Authors: | Pei Weihua Tang Jun Shen Rongxuan Chen Hongda |
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