| 快速确定微电子器件失效激活能及寿命试验的新方法 |
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| 引用本文： | 李杰,郭春生,莫郁薇,谢雪松,程尧海,李志国. 快速确定微电子器件失效激活能及寿命试验的新方法[J]. 半导体学报, 2005, 26(8) |
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| 作者姓名： | 李杰 郭春生 莫郁薇 谢雪松 程尧海 李志国 |
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| 作者单位： | 北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京,100022 |
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| 摘 要： | 提出了一种新的微电子器件快速评价方法-温度斜坡法,建立了确定失效激活能的新模型和寿命外推新模型,使用此模型可计算出单支器件的失效激活能并外推其寿命.同时,该方法的试验温度范围较宽,可以触发不同温度范围的多种退化模式,实现对不同退化机理的研究.
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| 关 键 词： | 温度斜坡 激活能 多退化机理 |
A New Method of Rapidly Confirming Activation Energy and Extrapolating Life of Electronic Device |
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| Li Jie,Guo Chunsheng,Mo Yuwei,Xie Xuesong,Cheng Yaohai,Li Zhiguo. A New Method of Rapidly Confirming Activation Energy and Extrapolating Life of Electronic Device[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2005, 26(8) |
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| Authors: | Li Jie Guo Chunsheng Mo Yuwei Xie Xuesong Cheng Yaohai Li Zhiguo |
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