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| HgCdTe钝化过程中形成的镶嵌结构及其热处理效应 | |
| 引用本文： | 孙涛,王庆学,陈文桥,梁晋穗,陈兴国,胡晓宁,李言谨.HgCdTe钝化过程中形成的镶嵌结构及其热处理效应[J].半导体学报,2005,26(1). |
| 作者姓名： | 孙涛 王庆学 陈文桥 梁晋穗 陈兴国 胡晓宁 李言谨 |
| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所,功能材料器件中心,上海,200083 |
| 摘 要： | 通过高分辨X射线衍射仪中的二维点阵研究了溅射的CdTe介质膜对HgCdTe外延层的影响.发现在高溅射能量下沉积的钝化膜由于应力的作用,HgCdTe晶片出现弯曲及大量镶嵌结构,而这种镶嵌结构可通过合理的热处理工艺消除. |
| 关 键 词： | HgCdTe CdTe 钝化 二维点阵 |
Mosaic Structure and Heating Treatment of Passivated HgCdTe |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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