| MSM光探测器直流特性的二维分析 |
| |
| 引用本文： | 于弋川,何建军,何赛灵,邹勇卓. MSM光探测器直流特性的二维分析[J]. 半导体学报, 2005, 26(4) |
| |
| 作者姓名： | 于弋川 何建军 何赛灵 邹勇卓 |
| |
| 作者单位： | 1. 浙江大学光及电磁波研究中心,现代光学仪器国家重点实验室,杭州,310027
2. Lightip Technologies,Inc.,Ottawa,ON K1K 4R8,Canada |
| |
| 摘 要： | 基于有限差分方法对金属-半导体-金属(MSM)光探测器进行了二维分析,得到有明确物理意义的模拟曲线和结论,并结合模拟结果对MSM光探测器的光电直流特性进行了分析.全部模拟工作都是基于半导体物理的基本微分方程完成的,这对于未来优化设计探测器的性能和结构有很大的意义.
|
| 关 键 词： | MSM光探测器 有限差分 二维分析 直流 硅材料 |
Analysis of MSM-PD's DC Characteristics Using a Two Dimensional Numerical Method |
| |
| Yu Yichuan,He Jianjun,He Sailing,Zou Yongzhuo. Analysis of MSM-PD's DC Characteristics Using a Two Dimensional Numerical Method[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2005, 26(4) |
| |
| Authors: | Yu Yichuan He Jianjun He Sailing Zou Yongzhuo |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
