| 表征ULSI低介电常数互连材料机械特性的表面波频散特性 |
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| 引用本文： | 李志国,肖夏,张鑫慧,姚素英.表征ULSI低介电常数互连材料机械特性的表面波频散特性[J].半导体学报,2005,26(10). |
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| 作者姓名： | 李志国 肖夏 张鑫慧 姚素英 |
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| 作者单位： | 天津大学电子信息工程学院,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，教育部留学回国人员科研启动基金 |
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| 摘 要： | 研究了在Si(100)衬底上淀积低k薄膜的分层结构中表面波沿Si100]和110]晶向传播的速度-频率色散特性,给出了表面波色散特性的理论推导,得到了低k薄膜的杨氏模量、密度、厚度和泊松常数对色散关系的影响.
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| 关 键 词： | 低介电常数介质 表面波 频散特性 杨氏模量 |
Dispersive Characteristics of Surface Acoustic Waves for Measuring Mechanical Properties of Low-k Dielectrics Used in ULSI |
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| Li Zhiguo,Xiao Xia,Zhang Xinhui,Yao Suying.Dispersive Characteristics of Surface Acoustic Waves for Measuring Mechanical Properties of Low-k Dielectrics Used in ULSI[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(10). |
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| Authors: | Li Zhiguo Xiao Xia Zhang Xinhui Yao Suying |
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