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| 1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅的研制 | |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，上海市应用材料科技合作计划，教育部科学技术研究项目 |
| 摘 要： | 采用高精度光刻版、PECVD材料生长、反应离子刻蚀和端面8°角抛光等技术,设计并研制了1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅.研制的AWG芯片,其相邻通道引起的通道串扰小于-28dB,非相邻通道引入的串扰小于-35dB.通道的插入损耗在进行光纤耦合封装后进一步提高,平均损耗约为4.9dB,不均匀性约为1.72dB. |
| 关 键 词： | 阵列波导光栅 硅基二氧化硅 光波导 光波分复用器/解复用器 集成光学 |
Design and Fabrication of 1 × 32 Silica-Based Arrayed Waveguide Grating |
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