数字式电容测微仪及其精度的提高

本文介绍一种新型的高精度微位移测量仪器一数字式电容测微仪,它可以广泛应用于工件形状误差、尺寸参数的精密测量以及机械振动、冲击的动态测试。本文在误差分析的基础上,提出改进措施,以期提高仪器的测量精度,理论分析和实验表明改进措施是有效的。