用于半导体探测器研制的数字影像显微系统 |
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引用本文: | 韩励想,李占奎,靳根明,王柱生,肖国青. 用于半导体探测器研制的数字影像显微系统[J]. 核电子学与探测技术, 2009, 29(5) |
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作者姓名: | 韩励想 李占奎 靳根明 王柱生 肖国青 |
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作者单位: | 中国科学院近代物理研究所,兰州,730000;中国科学院研究生院,北京,100049;中国科学院近代物理研究所,兰州,730000 |
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摘 要: | 光学显微检测在半导体探测器研制的多个环节具有重要意义.利用较低价单元、部件组装了一套数字影像光学显微系统,性能与国外中档产品相当,性价比卓越.该系统拥有微机控制的高清晰数字摄影装置,配置大屏幕监视器,搭载高倍干系物镜,分辨率达到0.2μm,可以进行明暗场、偏光、干涉观测.它可以方便的用于缺陷、沾污控制,图形检测,表面光洁度检验,材料鉴定等方面,还可用于测试、封装、修理等精细操作.通过观察焊点的表面形貌,钎料合金的显微结构,可以鉴定焊点质量.如果结合多光束干涉技术可用于表面起伏的精细测量.论文叙述了该系统在半导体探测器研制上的应用,详述了其建造细节.
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关 键 词: | 半导体探测器IC制造技术 平面工艺 显微镜 数码相机 |
The System of Digital-image Optical Microscope in Semiconductor Particle Detector Development |
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