| 可见光移相点衍射干涉仪的测试误差分析 |
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| 引用本文： | 张宇,金春水,马冬梅,王丽萍.可见光移相点衍射干涉仪的测试误差分析[J].红外与激光工程,2012,41(5):1351-1356. |
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| 作者姓名： | 张宇 金春水 马冬梅 王丽萍 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033;中国科学院研究生院,北京100049
2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春,130033 |
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| 基金项目： | 应用光学国家重点实验室资助项目 |
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| 摘 要： | 为了实现对极紫外光刻投影物镜非球面反射镜的超高精度检测,引入了可见光移相点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并采用自行设计的十三步移相算法和传统五步移相算法对可见光移相点衍射干涉仪的测试误差进行了详细的理论分析及仿真计算,分析结果证明了十三步算法优越性的同时,也给出了要实现干涉仪的超高检测精度应该限定的测试组件的性能参数。为了验证可见光移相点衍射干涉仪及十三步算法的切实可行性,搭建了原理实验装置,通过40次重复测量取平均值的方法获得被检元件面形。实验结果表明:十三步算法和五步算法的结果相近,但十三步算法的重复性优于五步算法。采用十三步算法,在所构建的实验装置上实现了RMS值优于λ/10 000(λ=632.8 nm)的检测重复性。
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| 关 键 词： | 误差分析 十三步移相算法 移相点衍射干涉仪 光学检测 |
Analysis of measuring errors for the visible light phase shifting point diffraction interferometer |
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| Zhang Yu
,
Jin Chunshui
,
Ma Dongmei
,
Wang Liping.Analysis of measuring errors for the visible light phase shifting point diffraction interferometer[J].Infrared and Laser Engineering,2012,41(5):1351-1356. |
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| Authors: | Zhang Yu Jin Chunshui Ma Dongmei Wang Liping |
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| Affiliation: | 1(1.State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;2.Graduate University of the Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China) |
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| Abstract: | |
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