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负离子源全固态大功率射频源功率控制策略分析
作者单位:中国科学院等离子物理研究所,合肥230031;中国科学技术大学,合肥230026;中国科学院等离子物理研究所,合肥230031
基金项目:国家自然科学基金;国家重点研发计划;国家重大科技基础设施项目
摘    要:

关 键 词:中性束注入器  负离子源  射频源  功率控制
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