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杂志ISSN号
负离子源全固态大功率射频源功率控制策略分析
作者单位:
中国科学院等离子物理研究所,合肥230031;中国科学技术大学,合肥230026;中国科学院等离子物理研究所,合肥230031
基金项目:
国家自然科学基金;国家重点研发计划;国家重大科技基础设施项目
摘 要:
关 键 词:
中性束注入器
负离子源
射频源
功率控制
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