摆动式抛光磨头动力学特性正交试验研究

设计并搭建了摆动式抛光磨头动力学特性实验平台。通过加速度传感器测量磨头工作时的振动信号,基于磨头工作时的振动影响因素,开展了以磨头主轴转速、磨头压力和磨块粒度号三个参数为因素的正交试验,通过分析对比试验数据及信号瀑布图,得到以抑制振动为目的的最佳匹配抛光参数。试验研究结果为摆动式抛光磨头在抛光机上的应用提供参考。