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| 亚微米电子束制版工艺技术应用研究 | |
| 引用本文： | 江泽流,罗四维,王育忠.亚微米电子束制版工艺技术应用研究[J].微细加工技术,1986(2). |
| 作者姓名： | 江泽流 罗四维 王育忠 |
| 作者单位： | 电子工业部第十三研究所 (江泽流，罗四维)，电子工业部第十三研究所(王育忠) |
| 摘 要： | 文章简述了国外电子束曝光技术发展概况;着重介绍了为发展微细加工技术,以适应我所研制各种新型器件要求而进行的“亚微米电子束制版工艺技术应用研究”工作;给出了与选择最佳工艺条件有关的一些实验数据、曲线,最佳工艺条件及其应用效果。 |
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