| Ag/Au与n-ZnO的欧姆接触特性的研究 |
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| 引用本文： | 邓叶,王晓东,朱彦旭,曹伟伟,刘飞飞,杜志娟,于宁. Ag/Au与n-ZnO的欧姆接触特性的研究[J]. 光电子．激光, 2014, 0(8): 1511-1515 |
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| 作者姓名： | 邓叶 王晓东 朱彦旭 曹伟伟 刘飞飞 杜志娟 于宁 |
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| 作者单位： | 北京工业大学 电控学院光电子技术实验室,北京 100124;中国人民武警部队学院 基础部,河北 廊坊 065000;北京工业大学 电控学院光电子技术实验室,北京 100124;北京工业大学 电控学院光电子技术实验室,北京 100124;北京工业大学 电控学院光电子技术实验室,北京 100124;北京工业大学 电控学院光电子技术实验室,北京 100124;北京工业大学 电控学院光电子技术实验室,北京 100124 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(61107026,61204011)、北京市自然科学基金(4112006)和北京市教委科研计划(KM201210005004)资助项目 (1.北京工业大学 电控学院光电子技术实验室,北京 100124; 2.中国人民武警部队学院 基础部,河北 廊坊 065000) |
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| 摘 要： | 为了更好实现ZnO材料在光电器件方面的应用,研究了Ag/Au和n-ZnO薄膜的欧姆接触。通过半导体特性分析系统测出欧姆接触的I-V特性曲线和采用挖补圆盘法测试了欧姆接触的接触电阻率,研究了退火温度对接触特性的影响。利用俄歇电子能谱(AES)研究了欧姆接触的微观结构,比较了不同的金属电极的反射特性。结果表明,Ag(50nm)/Au(100nm)和n-ZnO薄膜的欧姆接触在退火温度为500℃时最好,欧姆接触电阻率仅为5.2×10-4Ω·cm-2,且其反射特性比其它金属电极好。
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| 关 键 词： | Ag/Au n-ZnO 欧姆接触 |
| 收稿时间： | 2014-04-23 |
Research on Ag/Au ohmic contact to n-ZnO |
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| DENG Ye,WANG Xiao-dong,ZHU Yan-xu,CAO Wei-wei,LIU Fei-fei,DU Zhi-juan and YU Ning. Research on Ag/Au ohmic contact to n-ZnO[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2014, 0(8): 1511-1515 |
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| Authors: | DENG Ye WANG Xiao-dong ZHU Yan-xu CAO Wei-wei LIU Fei-fei DU Zhi-juan YU Ning |
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| Affiliation: | Photoelectron Technology Laboratory,Beijing University of Technology,Beijing 100124,China;Basic Course Teaching Department,the Armed Police Academy,Langfang 065000,China;Photoelectron Technology Laboratory,Beijing University of Technology,Beijing 100124,China;Photoelectron Technology Laboratory,Beijing University of Technology,Beijing 100124,China;Photoelectron Technology Laboratory,Beijing University of Technology,Beijing 100124,China;Photoelectron Technology Laboratory,Beijing University of Technology,Beijing 100124,China;Photoelectron Technology Laboratory,Beijing University of Technology,Beijing 100124,China |
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