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| 一种多功能微型电子机械系统 | |
| 引用本文： | 谢国章.一种多功能微型电子机械系统[J].中国仪器仪表,1996(1):20-21. |
| 作者姓名： | 谢国章 |
| 摘 要： | 一种多功能微型电子机械系统谢国章一、引言微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）是德国学者于８０年代末提出的概念，意指由微机械与微电子集成所构成的微型结构，具有小型、可靠、性能优越、生产成本低等优点，既有微电子的处理功能，又有微机械的传感与执行功能，是一全智能系... |
| 关 键 词： | 微型 电子机械系统 MEMS |
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